QR系列區(qū)熔單晶硅爐

QR系列區(qū)熔爐是我公司自主開發(fā)的專用于拉制區(qū)熔單晶硅棒的設(shè)備，是- -種綜合了機(jī)械、電力、電子、真空等多個(gè)專業(yè)的具有高技術(shù)含量的自動(dòng)化設(shè)備。我公司已申請(qǐng)并授權(quán)了二項(xiàng)發(fā)明專利，十二
項(xiàng)實(shí)用新型專利。該設(shè)備能夠完全替代進(jìn)口區(qū)熔爐設(shè)備。
QR系列區(qū)熔爐的操作自動(dòng)化程度高、檢測(cè)功能完善、保護(hù)功能齊全，參數(shù)調(diào)整靈活簡便，能最大限度的滿足各種拉晶工藝的調(diào)整。
QR系列區(qū)熔爐能夠拉制單晶直徑為2英寸~8英寸，最大拉單晶長度為1000mm^ 2200mm (等徑部分)，并可進(jìn)行本征、氣摻區(qū)熔單晶的拉制。